离子产生和表面灵敏度

• 一束高能初级离子轰击样品表面激发出原子和分子碎片 
• 只一小部分激发出的粒子以离子的状态离开表面，被质量分析器探测出来
• 对于无机材料, 原子离子百分含量> 10%
• 对于有机材料，原子和分子离子碎片百分含量可以从 .001% 到 1%
• 只从表面2个分子层激发出的粒子可以以离子态离开表面







TOF-SIMS 主要功能

• 采集离子质谱图用于表面元素（原子离子），同位素，分子化学结构（通过分子离子碎片）的表征
• 点或面扫描（2D成像）得到成分分布像，观察不同成分在同一条线或面的分布情况
• 深度剖析和3D成像可以分析不同的膜层结构和成分深度分布信息：多层膜层结构表征，成分掺杂深度，扩散，吸附等表征